Журнал СФУ. Техника и технологии / Взаимодействие газовой фазы с расплавом в процессе выращивания монокристаллов германия

Полный текст (.pdf)
Номер
Журнал СФУ. Техника и технологии. 2013 6 (6)
Авторы
Подкопаев, О.И.; Кулаковская, Т.В.; Шиманский, А.Ф.; Погодаев, А.М.; Васильева, М.Н.
Контактная информация
Подкопаев, О.И.:ОАО «Германий» Россия 660027, Красноярск, Транспортный проезд, 1; Кулаковская, Т.В.:ОАО «Германий» Россия 660027, Красноярск, Транспортный проезд, 1; Шиманский, А.Ф.:Сибирский федеральный университет Россия 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79; E-mail: ; Погодаев, А.М.:Сибирский федеральный университет Россия 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79; Васильева, М.Н.:Сибирский федеральный университет Россия 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79
Ключевые слова
германий; монокристаллы; концентрация кислорода; расплав; газовая фаза; взаимодействие; термодинамический анализ; germanium crystals; gas-phase; oxygen concentration; the melt; interaction; thermodynamic analysis
Аннотация

Проведен термодинамический анализ взаимодействия газовой фазы с расплавом в ходе выращивания монокристаллов германия. Рассмотрены процессы роста кристаллов в среде инертного газа и кристаллизации Ge в среде водорода. Установлена взаимосвязь концентрации кислорода в слитках полупроводникового германия с парциальным давлением кислорода в инертном газе и парциальным давлением водяного пара в водороде. Предложена термодинамическая модель взаимодействия кислорода и влаги в газовой среде с расплавом германия

Страницы
674-679
Статья в архиве электронных ресурсов СФУ
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/10052

Лицензия Creative Commons Эта работа лицензируется по лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY-NC 4.0).