Журнал СФУ. Техника и технологии / Управление формой полупроводниковых кристаллов при выращивании по способу Чохральского

Полный текст (.pdf)
Номер
Журнал СФУ. Техника и технологии. 2014 7 (1)
Авторы
Саханский, С.П.
Контактная информация
Саханский, С.П.:Сибирский федеральный университет Россия, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79
Ключевые слова
model; growing; semiconductor chips; модель; выращивание; полупроводниковые кристаллы
Аннотация

Предложена модель формирования температуры и скорости вытягивания полупроводниковых кристаллов при выращивании по способу Чохральского, которая позволяет управлять формой кристаллов, обеспечивая плоский фронт кристаллизации и получение качественной готовой продукции

Страницы
20-31
Статья в архиве электронных ресурсов СФУ
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/10289

Лицензия Creative Commons Эта работа лицензируется по лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY-NC 4.0).