Сибирский федеральный университет

Номер

Журнал СФУ. Техника и технологии. 2025 18 (7)

Авторы

Зайцев, О. В.; Гареев, Т. И.; Нерушев, О. А.; Коваленко, П. В.

Контактная информация

Зайцев, О. В. : Новосибирский национальный исследовательский государственный университет Российская Федерация, Новосибирск; Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН Российская Федерация, Новосибирск; Гареев, Т. И. : Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН Российская Федерация, Новосибирск; Нерушев, О. А. : Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН Российская Федерация, Новосибирск; Коваленко, П. В. : Новосибирский национальный исследовательский государственный университет Российская Федерация, Новосибирск; Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН Российская Федерация, Новосибирск

Ключевые слова

магнетронное распыление; триодное распыление; плотность плёнок; плёнки титана; рутил; титаносодержащие тонкие плёнки; magnetron sputtering; triode sputtering; film density; titanium films; rutile; titanium-containing thin films

Аннотация

Эта статья предлагает модифицированный метод магнетронного распыления с использованием дополнительного разряда вблизи подложки, создаваемого малым анодом. Это дает возможность управлять концентрацией потока заряженных частиц, поступающих на подложку, что позволяет контролировать свойства получаемых покрытий. Полученные данным методом плёнки титана были отожжены на воздухе и в азоте при различных температурах. Полученные титаносодержащие плёнки демонстрировали свойства, зависящие от свойств исходной плёнки. Было выявлено, как плотность исходных плёнок влияет на кинетику трансформации во время отжига

Страницы

916–930

EDN

BGARFH

Статья в архиве электронных ресурсов СФУ

https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/157868

Эта работа лицензируется по лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY-NC 4.0).