Журнал СФУ. Техника и технологии / Разработка и применение компонентов МЭМС

Полный текст (.pdf)
Номер
Журнал СФУ. Техника и технологии. 2015 8 (3)
Авторы
Левицкий, А.А.; Маринушкин, П.С.
Контактная информация
Левицкий, А.А.:Сибирский федеральный университет Россия, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79; Маринушкин, П.С.:Сибирский федеральный университет Россия, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79
Ключевые слова
microelectromechanical systems (MEMS); microelectromechanical resonators; SCREAM technology; microgyroscopes; inertial navigation; pedestrian navigation; микроэлектромеханические системы (МЭМС); микроэлектромеханические резонаторы; SCREAM-технология; микрогироскопы; навигация; пешеходная навигация
Аннотация

Представлены результаты исследований, связанных с созданием компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС). Рассмотрены конструктивные варианты и технологии изготовления компонентов МЭМС на базе кремниевых микроструктур. Обсуждаются результаты исследований экспериментальных образцов. Рассмотрены пути дальнейшего развития исследований по созданию перспективных компонентов МЭМС

Страницы
290-296
Статья в архиве электронных ресурсов СФУ
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/16837

Лицензия Creative Commons Эта работа лицензируется по лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY-NC 4.0).