Журнал СФУ. Техника и технологии / Растворение кислорода в германии в процессе выращивания монокристаллов

Полный текст (.pdf)
Номер
Журнал СФУ. Техника и технологии. 2012 5 (6)
Авторы
Подкопаев, О.И.; Кулаковская, Т.В.; Шиманский, А.Ф.; Погодаев, А.М.; Васильева, М.Н.
Контактная информация
Подкопаев, О.И.: ОАО «Германий , Россия 660027, Красноярск, Транспортный проезд, 1; Кулаковская, Т.В.: ОАО «Германий , Россия 660027, Красноярск, Транспортный проезд, 1; Шиманский, А.Ф.: Сибирский федеральный университет , Россия 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79 , e-mail: ; Погодаев, А.М.: Сибирский федеральный университет , Россия 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79; Васильева, М.Н.: Сибирский федеральный университет , Россия 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79
Ключевые слова
германий; монокристаллы; газовая фаза; концентрация кислорода; расплав; взаимодействие; термодинамический анализ; germanium crystals; gas-phase; oxygen concentration; the melt; interaction; thermodynamic analysis
Аннотация

Методом ИК-Фурье спектрометрии определено содержание кислорода в монокристаллах германия, выращенных по методу Чохральского. Проведен термодинамический анализ процесса растворения в Ge остаточного кислорода, содержащегося в газовой фазе.

Страницы
631-637
Статья в архиве электронных ресурсов СФУ
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/9385

Лицензия Creative Commons Эта работа лицензируется по лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY-NC 4.0).