Журнал СФУ. Математика и физика / Восстановление оксида бора на поликристаллических подложках алюминия и самария

Полный текст (.pdf)
Номер
Журнал СФУ. Математика и физика. Prepublication
Авторы
Акашев, Лев А.; Корх, Юлия В.; Попов, Николай А.; Кузнецова, Татьяна В.; Конюкова, Алла В.; Шевченко, Владимир Г.
Контактная информация
Акашев, Лев А. : Институт химии твердого тела УрО РАН Екатеринбург, Российская Федерация; Корх, Юлия В.: Институт физики металлов им. М.Н. Михеева УрО РАН Екатеринбург, Российская Федерация; Попов, Николай А. : Институт химии твердого тела УрО РАН Екатеринбург, Российская Федерация; Кузнецова, Татьяна В. : Институт физики металлов им. М.Н. Михеева УрО РАН Екатеринбург, Российская Федерация; Конюкова, Алла В. : Институт химии твердого тела УрО РАН Екатеринбург, Российская Федерация; Шевченко, Владимир Г. : Институт химии твердого тела УрО РАН Екатеринбург, Российская Федерация
Ключевые слова
thin film ellipsometry; Cauchy formula; boron oxide reduction; эллипсометрия тонких пленок; формула Коши; восстановление оксида бора
Аннотация

В данной работе оптическими методами спектроскопии комбинационного рассеяния (КРС), спектральной эллипсометрии исследован процесс восстановления оксида бора, нанесенно- го вакуумным термическим испарением на поверхности алюминия и самария. По данным КРС на спектрах данных образцов обнаружены рамановские пики, соответствующие колебаниям β-ромбоэдрического бора (β-B). Методом спектральной эллипсометрии определены оптические постоянные и толщина наноразмерной пленки бора в диапазоне спектра от 270 до 1000 нм

Страницы
60–64
EDN
CLBQRT
Статья в архиве электронных ресурсов СФУ
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/157924