Журнал СФУ. Математика и физика / Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CAD

Полный текст (.pdf)
Номер
Журнал СФУ. Математика и физика. 2010 3 (1)
Авторы
Ефремов, Александр В.; Овчинников, Сергей Г.; Варнаков, Сергей Н.; Косырев, Николай Н.
Контактная информация
Ефремов, Александр В. : Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН; Академгородок 50, Красноярск, 660036, Россия, e-mail: ; Овчинников, Сергей Г. : Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН; Академгородок 50, Красноярск, 660036, Россия,; Варнаков, Сергей Н. : Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН; Академгородок 50, Красноярск, 660036, Россия,; Косырев, Николай Н. : Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН; Академгородок 50, Красноярск, 660036, Россия,
Ключевые слова
CAD; математическое моделирование; эллипсометр; моделирование перегрузок; метод конечных элементов; CAD; mathematical modeling; ellipsometer; overload modeling; finite element method
Аннотация

Рассматривается задача автоматизированного проектирования системы крепления плеч эллип- сометра, являющегося частью установки молекулярно-лучевой эпитаксии с магнитооптическим эллипсометрическим комплексом. Показана возможность проектирования, управляемого задан- ными ограничивающими условиями. При помощи системы автоматизированного проектирова- ния с использованием математического моделирования была найдена оптимальная форма креп- ления плеч эллипсометра. Было определено ускорение, возникающее при типичных перегрузках камеры, при этом максимальное отклонение луча на приемнике анализатора не превышало до- пустимого для проведения измерений отклонения.

Страницы
118-124
Статья в архиве электронных ресурсов СФУ
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/1594