Сибирский федеральный университет

Номер

Журнал СФУ. Техника и технологии. 2010 3 (4)

Авторы

Сакун, Е.А.; Полюшкевич, А.В.; Харлашин, П.А.; Семенова, О.В.; Корец, А.Я.

Контактная информация

Сакун, Е.А. : Сибирский федеральный университет , 660041 Россия, Красноярск, пр. Свободный,79 , e-mail: ; Полюшкевич, А.В. : Сибирский федеральный университет , 660041 Россия, Красноярск, пр. Свободный,79; Харлашин, П.А. : Сибирский федеральный университет , 660041 Россия, Красноярск, пр. Свободный,79; Семенова, О.В. : Сибирский федеральный университет , 660041 Россия, Красноярск, пр. Свободный,79; Корец, А.Я. : Сибирский федеральный университет , 660041 Россия, Красноярск, пр. Свободный,79

Ключевые слова

пористый кремний; пористые структуры на кремнии; магнитные структуры; Porous silicon; porous structures on silicon; the microsystem engineering

Аннотация

В данной работе приводится обзор экспериментальных исследований кремниевых пористых структур, полученных методом электрохимического анодирования монокристаллического кремния в растворе плавиковой кислоты. Изложены результаты оптических и магнитных исследований кремниевых пористых структур. Определены условия создания воспроизводимой структуры пористого кремния с равномерно распределенными цилиндрическими порами и стабильными временными характеристиками за счет использования специальной формы катода и электромагнитного излучения в видимой области спектра. Показана возможность создания фотонных структур, аналогичных структурам Брегговского отражателя и Фабри-Перо.

Страницы

430-443

Статья в архиве электронных ресурсов СФУ

https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/1857

Эта работа лицензируется по лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY-NC 4.0).