Журнал СФУ. Техника и технологии / Динамическое моделирование многомодового резонансного режима измерений в атомно-силовой микроскопии с пьезорезистивными активными кантилеверами

Полный текст (.pdf)
Номер
Журнал СФУ. Техника и технологии. 2018 11 (6)
Авторы
Маринушкин, П.С.; Левицкий, А.А.; Иванов, Т.; Рангелов, И.В.
Контактная информация
Маринушкин, П.С.: Сибирский федеральный университет Россия, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79; Левицкий, А.А.: Сибирский федеральный университет Россия, 660041, Красноярск, пр. Свободный, 79; Иванов, Т.: Технический университет Ильменау Институт микро- и наноэлектроники Германия, 98693, Ильменау, Густав Кирхгоф штрассе, 1; Рангелов, И.В.: Технический университет Ильменау Институт микро- и наноэлектроники Германия, 98693, Ильменау, Густав Кирхгоф штрассе, 1
Ключевые слова
Atomic Force Microscope (AFM); Nano- and Microelectromechanical Systems (NEMS/ MEMS); nanometrology; self-actuating and self-sensing cantilever; thermomechanical actuation; атомно-силовой микроскоп (АСМ); нано- и микроэлектромеханические системы (НЭМС/МЭМС); нанометрология; саморегистрирующий активный кантилевер; термомеханический привод
Аннотация

Проблема разработки высокоскоростных методов качественной и количественной характеризации материалов является одной из важнейших задач метрологии наносистем. В связи с этим представляет интерес исследование возможностей многомодового резонансного режима атомно-силовой микроскопии (АСМ), позволяющего расширить возможности АСМ в направлении повышения качества и достоверности количественного анализа изображений наноразмерных структур и нанообъектов. Предметом данной работы является рассмотрение вопросов создания динамической модели, описывающей взаимосвязанные механические и электрические процессы в саморегистрирующих активных кантилеверах, функционирующих в многочастотном резонансном режиме. Итогом работы является компьютерная динамическая модель АСМ, позволяющая исследовать процессы формирования сигналов, в управляющем и измерительных контурах АСМ при сканировании образцов в многочастотном режиме

Страницы
645-658
Статья в архиве электронных ресурсов СФУ
https://elib.sfu-kras.ru/handle/2311/72115

Лицензия Creative Commons Эта работа лицензируется по лицензии Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License (CC BY-NC 4.0).